НАНОТЕХНОВАК ООО

Решения для PVD технологий

Разработка и изготовление источников питания для применения в составе вакуумных технологических комплексов модификации поверхности и осаждения тонкопленочных функциональных покрытий с применением PVD технологий по техническим требованиям заказчика:

- источники питания электрического смещения подложки;

- источники питания стационарныхвакуумных электродуговых генераторов металлической плазмы;

- источники питания импульсных вакуумных электродуговых генераторов углеродной плазмы;

- источники питания магнетронных распылительных систем;

- источники питания генераторов плазмы с замкнутым дрейфом электронов;

- источники питания генераторов плазмы на основе торцевого ускорителя Холла;

- радиочастотные генераторы для применения в PVD технологических системах.

Разработка, изготовление и отладка автоматизированных систем управления технологическим процессом (АСУТП) осаждения тонкопленочных покрытий в вакууме с применением PVD технологий по техническому заданию заказчика.